產業範疇
半導體產業
半導體產業的清洗流程是製造過程中非常關鍵的一環,目的是去除晶圓(Wafer)在各製程步驟後所產生的污染物,如微粒、有機物、金屬離子及殘留化學物等,以確保後續製程的良率與可靠性。
環境控制清洗之濾材薄膜及濾芯等設備的廠商,生產的濾材,用於各種液體的捷徑。好比半導體製程,研磨晶圓產生的研磨廢液;甚至蝕刻,顯影等製程,先經過過濾,才能符合使用或廢排標準。可淨化,保護半導體設備製成過程中使用的關鍵材料。
高潔淨度
耐高溫
耐腐蝕
耐磨耗
抗靜電
高密度
晶圓載具
晶元是半導體晶體圓形片的簡稱,其為圓柱狀半導體晶體的薄切片,用於積體電路製程中作為載體基片,由於其形狀為圓形,故稱為晶圓。最常見的是矽晶圓,另有氮化鎵晶圓、碳化矽晶圓等。
傳送和保護產品的容器,主要應用於矽晶圓(Wafer)製程上的傳輸與儲存。
晶圓置放於密閉的晶圓盒內, 以確保其在生產及搬運時,於出入設備、傳送與儲存過程中的潔淨度。除了可以確保光罩不受靜電及微污染影響,更可大幅降低晶圓廠之建造成本及提升製造良率。
晶圓光罩盒
晶圓光罩盒及光罩傳送盒,主要用途為放置光罩使其在運輸及存放過程中受到妥善的保護並使其保持潔淨度, 以避免受到空氣微塵污染及靜電之損害,而提高產品製程中的良率。
薄膜式濾心
專業代工薄膜式濾心,適用於使半導體產業的過濾應用。確保製成液體及氣體的污染控制。去除顆粒及確保拋光工具的正常運作。